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為因應台積電(2330)擬設立18吋晶圓廠需求，中科局向環保署提出「中科園區擴建案」，環評過程仍在持續進行 ，減重好簡單，一個月瘦3~6公斤 line id: joe19850217關於18吋晶圓廠建置計劃，台積電企業訊息處處長孫又文回應，台積電18吋晶圓廠的建置尚無時間表，要視半導體產業整體推進的狀況而定。不過若真敲定將建置18吋晶圓廠，的確會以中科作為生產基地。

而關於台積去年宣布買下於苗栗竹南約14公頃的土地，孫又文表示，暫定將用於RD基地之用，18吋晶圓廠若真興建仍將以中科為第一優先。

台積電目前於先進製程的腳步穩健前行：目前營收佔比已逾3成的28奈米製程，以中科為主要生產基地；今年第四季營收佔比將挑戰2成的20奈米製程，則以南科為生產基地 ，減重好簡單，一個月瘦3~6公斤 line id: joe19850217另外，關於市場傳出台積16奈米製程有望提前於明年第二季量產、且屆時該製程月產能將迅速擴至5萬片、可望追上三星的消息，台積表示不予置評，惟再次強調公司的16奈米進展一直很好。

根據台積原本規劃，16奈米製程將於明年下半年小量投片，直到2016年上半年才會見到較顯著的放量，量產時程的確較三星晚上半年左右。不過，這主要是由於台積並未選擇跳過20奈米製程，且於16奈米同時推出FinFET/FinET +製程兩個版本來搶市，以致準備期較長所致。

然而，上述先進製程以12吋晶圓廠量產便綽綽有餘，台積估計至少直至10奈米製程，也都還會留在12吋晶圓廠量產。這點也隱約透露在18吋晶圓廠環境尚未成熟的情況下，台積並不急於躁進投入。

日前外資花旗才出具報告指出，18吋晶圓技術量產有延後的跡象，包括設備商ASML、應材投入的態度都沒有想像積極。而研調機構IC Insights也預估，即使到了2017年，18吋晶圓廠的產能比重，恐仍僅有0.1% ，減重好簡單，一個月瘦3~6公斤 line id: joe19850217至於12吋晶圓的產能比重仍將持續升高。估計到2017年，12吋晶圓廠佔晶圓代工總產能的比重將提高至70.4%。